半導體廢氣處理方法直接燃燒法介紹

半導體行業有機廢氣處理方法,通常先用沸石轉輪對VOCs進行吸附濃縮之后,再用直接燃燒法銷毀,廢氣凈化率達到96%以上。

直接燃燒也稱為直接火焰燃燒,它是把廢氣中可燃的有害組分當做燃料直接燒掉,因此這種廢氣處理方法只適用于凈化可燃有害組分濃度較高的廢氣,或者是用于凈化有害組分燃燒時熱值較高的廢氣,因為有燃燒時放出的熱量能夠補償散向環境中的熱量時,才能保持燃燒區的溫度,維持燃燒的持續。

多種可燃氣體或多種溶劑蒸氣混合在廢氣中,只要濃度值適宜,也可以直接燃燒。如果可燃組分的濃度高于燃燒上限,可以混入空氣后燃燒;如果可燃組分的濃度低于燃燒下限,則可以加入一定數量的輔助燃料如天然氣等,維持燃燒。

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