砷磷烷吸附塔

  • 設計風量: 1000CMH-60000CMH
  • 處理效率: >95%
  • 工作原理: 化學吸附
  • 處理氣體類型: ASH3、PH3、BF3
  • 吸附劑填裝量: 1-20噸
  • 更新時間: 2021-08-02 14:06:07
咨詢熱線:400-9655-098

工作原理介紹

利用化學反應、復分解反應等基本原理,與各種廢氣產生化學反應,生成穩定的無毒無害的化合物或者復合物,可直接用于修路、垃圾填埋等,不會產生二次污染。

砷磷烷吸附塔工作原理     砷磷烷吸附塔工作原理

工藝流程

砷磷烷吸附塔工藝流程圖

砷磷烷吸附塔工藝流程圖     砷磷烷吸附塔工藝流程圖

半導體行業的含砷廢氣從機臺端單獨收集,形成獨立的系統,砷烷磷烷的處理系統主要分為兩個部分,d一階段為Local Scrubber,即本地的干式吸附裝置,采用的原理也是化學吸附,目前隨著國j及各地區環保排放標準日驅嚴格,在含砷系統的Local Scrubber的基礎上匯集到屋面時會在Central端再次進行干式吸附,使用的設備稱為砷磷烷吸附塔,一般砷磷烷吸附塔也會配置一用一備模式,吸附后通過末端風機負壓達標排放。

內部結構

砷磷烷吸附塔內部結構圖

砷磷烷也可以稱含砷廢氣吸附裝置,一般也可分為立式和臥式兩種結構,如上述內部結構圖,立式吸附塔側進上出,臥式吸附塔側進側出,分為初效吸附劑和主反應藥劑兩個部分,砷磷烷的關鍵點就在于吸附劑的選擇和使用。

設計條件

  1. 廢氣風量

  2. 進氣中成分及各成分占比

  3. 進氣種含砷烷、磷烷及其他特氣的濃度

  4. 進氣溫度、濕度情況

  5. 運行要求,24h連續運行或間歇運行

  6. 安裝位置環境

價格標準

在砷磷烷吸附塔進行報價的過程中,要先要根據現場實際需求進行選型設計,選型主要是參照上述描述的設計條件,z終根據現場空間設計出砷磷烷吸附塔的圖紙及吸附劑用量,核算出合理的市場價格。

 

格林斯達專注環保領域19年,作為中芯國際SMIC認證的合格供應商,新三板上市企業,可提供完整的含砷廢氣、含磷廢氣等特殊氣體治理工藝及設備設計,保z廢氣達標排放,歡迎隨時咨詢訂購。

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